HARM：高深宽比微加工
“High Aspect Ratio Micromachining”通常缩写为HARM，这是一种广泛应用于微机电系统与半导体制造领域的关键工艺技术。缩写HARM便于在学术文献和技术文档中进行快捷书写与高效交流。其核心工艺旨在制造出具有极大高度与宽度比（即高深宽比）的微细结构，中文可直译为“高深宽比微加工”。该技术常见于多学科交叉的综合应用，尚未有十分严格的领域分类。
High Aspect Ratio Micromachining具体释义
High Aspect Ratio Micromachining的英文发音
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