RTP:快速热处理
在半导体和微电子等学术及工业领域,“Rapid Thermal Processing”通常被简写为RTP,以方便在文献撰写和日常交流中快速书写与使用。其中文译名为“快速热处理”,是一种用于材料表面改性、退火或氧化等工艺的关键技术,具有加热迅速、温度控制精确等特点,广泛应用于集成电路制造过程中。
Rapid Thermal Processing的英文发音
例句
- 本文 研究 了 快速 热 处理 工艺 ( RTP ) 在 模拟 的 CMOS 热 处理 工艺 中 对 直 拉 硅 单晶 中 氧 沉淀 和 洁净 区 ( DZ ) 的 影响 。
- Theeffectofrapidthermalprocessing(RTP)onoxygenprecipitatesprofileanddenudezone(DZ)inCzochralski(CZ)siliconwaferduringsimulatingCMOSprocessingisinvestigated.
- 快速 热 处理 对 氮化 硅 减 反射 性能 的 影响
- EffectofRapidThermalProcessingontheReflectanceofSiliconNitrideThinFilms
- 研究 了 过渡 族 金属 镍 在 快速 热 处理 作用 下 对 直 拉 单晶硅 中 洁净 区 形成 的 影响 。
- Theeffectofnickelcontaminationunderrapidthermalprocessing(RTP)onthemagicdenudedzone(MDZ)inCzochralskisiliconisinvestigated.
- 快速 热 处理 工艺 下 金属 杂质 对 铸造 多晶硅 少 子 寿命 的 影响
- Effectoftransition-metalcontaminationonminoritylifetimeincastmulti-crystallinesiliconunderrapidthermalprocessing
- 采用 新近 研制 的 高 真空 / 快速 热 处理 / 化学 气 相 淀积 ( HV/RTP/CVD ) 系统 生长 了 应变 SiGe 材料 。
- ThestrainedSiGematerialhasbeengrownbyusingthenewlydevelopedHighVacuum/RapidThermalProcessing/ChemicalVaporDeposition(HV/RTP/CVD)system.
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