SARP:自对准反向图案
“自对准反向图案”(Self-Aligned Reverse Patterning,简称SARP)是一种在电子与半导体工艺中广泛采用的技术术语。该缩写形式便于学术论文和技术文档中的快速书写与高效交流,常见于集成电路制造和微纳加工领域,用以描述一种精确定位图形结构的光刻或蚀刻工艺方法。
Self Aligned Reverse Patterning具体释义
Self Aligned Reverse Patterning的英文发音
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