HVPE:氢化物汽相外延
氢化物汽相外延(Hydride Vapour Phase Epitaxy,常缩写为HVPE)是一种广泛应用于半导体材料制备的技术。该缩写便于在学术文献及工程应用中快速书写和交流,尤其常见于材料科学、光电子器件等综合研究领域。其核心工艺通过气态氢化物在衬底表面进行化学沉积,实现高质量单晶薄膜的生长。
Hydride vapour phase epitaxy具体释义
Hydride vapour phase epitaxy的英文发音
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