P-GILD:投影气体浸没激光掺杂
“投影气体浸没激光掺杂”(Projection Gas Immersion Laser Doping)是一种在微电子和半导体工艺中常用的先进掺杂技术,通常缩写为P-GILD以方便书写与交流。该技术通过激光诱导和气态掺杂剂扩散,实现对材料表面区域的精确掺杂控制,在学术研究及工业应用中具有重要作用。
Projection Gas Immersion Laser Doping具体释义
Projection Gas Immersion Laser Doping的英文发音
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