CD/OL:临界尺寸叠加
“临界尺寸叠加”(Critical Dimension Overlay)在学术及电子工程领域常被缩写为CD/OL。这一缩写便于书写与交流,尤其在涉及集成电路制造和微纳加工技术的文献中频繁出现,用于描述关键尺寸层间的对准精度与叠加误差的测量与分析。
Critical Dimension OverLay具体释义
Critical Dimension OverLay的英文发音
例句
- Systematic Control Exploitation for Critical Dimension and Overlay in Photolithography Technology
- 光刻工艺中对线宽和套刻系统性控制的开发
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