EPD：腐蚀坑密度
“蚀刻坑密度”（Etch Pit Density，简称EPD）是材料科学与半导体电子领域的常用专业术语，广泛应用于评估晶体材料的位错密度及质量分析。在学术论文及技术文档中，为书写和使用的便捷性，常直接使用其英文缩写EPD。该指标通过化学或电化学腐蚀后在晶体表面形成的腐蚀坑数量进行表征，对器件性能有重要影响。
Etch Pit Density的英文发音
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