ISPM:原位颗粒监测仪
“In-Situ Particle Monitor”常缩写为ISPM,广泛应用于电子制造、半导体和材料科学等学术与工业领域。该设备用于实时监测和分析生产过程中颗粒物的浓度、尺寸及分布,中文译作“原位颗粒监测仪”,有助于保障工艺洁净度、提升产品质量。缩写形式便于技术文档书写与专业交流。
In-Situ Particle Monitor具体释义
In-Situ Particle Monitor的英文发音
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