ARDE:高宽比蚀刻
“Aspect-Ratio-Dependent Etching”通常缩写为ARDE,这一简写形式在学术写作和科技交流中被广泛采用,旨在提升表达效率与便利性。该术语主要用于电子工程和微纳加工等领域,其核心含义为“高宽比蚀刻”,特指蚀刻速率随结构高宽比变化的一种工艺现象。
Aspect-Ratio-Dependent Etching具体释义
Aspect-Ratio-Dependent Etching的英文发音
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