LPSM:莱文森移相掩码
“Levenson Phase Shift Mask”在学术和电子工程领域常被简写为LPSM,以方便书写与交流。该术语的中文全称为“莱文森移相掩码”,是一种应用于半导体制造和光学光刻技术中的关键元件,能够提升微细图案的分辨率与成像质量。
Levenson Phase Shift Mask具体释义
Levenson Phase Shift Mask的英文发音
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