MOVPE:金属有机气相外延
金属有机气相外延(Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy,简称MOVPE)是一种广泛应用于半导体和电子材料制备领域的关键技术。通过气态前驱体在衬底表面进行化学反应,实现高质量单晶薄膜的生长,在光电器件、高频晶体管等前沿研究中发挥重要作用。为便于学术交流与技术文档撰写,该术语常以其英文缩写MOVPE的形式出现。
Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy具体释义
Metal-Organic Vapor-Phase Epitaxy的英文发音
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