RTA：快速热退火

快速热退火（Rapid Thermal Anneal，简称RTA）是一种在半导体与微电子工艺中广泛采用的热处理技术，通过瞬时升温和快速冷却来优化材料性能。该术语在学术及工程领域常缩写为RTA，既便于书写交流，又能有效提升专业文献和技术文档的表达效率。

Rapid Thermal Anneal具体释义

  • 英文缩写：RTA
  • 英语全称：Rapid Thermal Anneal
  • 中文意思：快速热退火
  • 中文拼音：kuài sù rè tuì huǒ
  • 相关领域： rta 电子

Rapid Thermal Anneal的英文发音

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