VASE:变角度椭圆偏振光谱法
变角度椭圆偏振光谱法(Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry,简称VASE)是一种广泛应用于材料科学和电子器件研究领域的表征技术。为了便于书写与交流,该术语常被缩写为VASE。该方法通过分析偏振光与材料相互作用后偏振状态的变化,能够精确测量薄膜的光学常数、厚度等关键参数,尤其适用于半导体、光学涂层等电子相关材料的研究。
Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry具体释义
Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry的英文发音
例句
- Based on the measurement method on optical film refractive index and thickness, commonly used in the world, a method which derived from variable angle spectroscopic ellipsometry is used to set the primary standard of optical film refractive index and thickness for national defense.
- 论文在综合了国际上光学薄膜折射率和厚度不同测试方法的基础上,采用可变角椭圆偏振法来实现和建立国防系统的光学薄膜折射率和厚度最高标准。
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