MEMS:微电子机械系统
微机电系统,英文全称为Micro Electrical Mechanical Systems,通常缩写为MEMS,是一种在微米尺度上集成机械元件、传感器、执行器及电子电路的微型系统。该术语在电子工程、材料科学及精密仪器等学术与工业领域广泛应用,缩写形式便于学术交流和技术文档的简洁表达。其核心在于利用半导体工艺实现微型化机械结构与电子系统的融合。
Micro Electrical Mechanical Systems具体释义
Micro Electrical Mechanical Systems的英文发音
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