RPN:远场等离子体氮化
“远场等离子体氮化”(Remote Plasma Nitridation)在学术和物理学领域中常被简写为RPN,这一简称便于快速书写与交流。该方法主要用于材料表面改性,通过等离子体技术实现高效氮化处理,广泛应用于半导体制造与材料科学研究中。
Remote Plasma Nitridation具体释义
Remote Plasma Nitridation的英文发音
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