MEMS:微电子机械系统
微机电系统(MicroElectroMechanical System,常缩写为MEMS)是一种集成了微电子与微机械部件的精密系统,以其缩写形式书写和使用更为便捷。该系统在机构工程领域应用广泛,尤其受到美国国家航空航天局(NASA)等顶尖科研机构的重视,主要用于研发高性能的微型传感器、执行器及其他集成设备。
MicroElectroMechanical System具体释义
MicroElectroMechanical System的英文发音
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