SCIL:基板完整压印光刻
“Substrate Conformal Imprint Lithography”常简写为SCIL,以方便书写和使用。该术语多见于综合性技术领域,广泛应用于纳米制造与微结构加工中,目前尚未有明确的学科归类。其中文释义为“基板完整压印光刻”,是一种能够实现高分辨率图案转移的先进光刻技术。
Substrate Conformal Imprint Lithography具体释义
Substrate Conformal Imprint Lithography的英文发音
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