EBR：边珠去除
“边缘珠去除”（Edge Bead Removal，简称EBR）是一个在电子及学术科研领域中常用的专业术语。该术语通常缩写为EBR，以便在文献撰写和技术交流中实现快速书写与便捷使用。其核心含义是指去除晶圆等基材边缘处形成的多余珠状残留物的工艺步骤。
Edge Bead Removal的英文发音
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