TDEAT:四乙基氨基钛
四乙基氨基钛是一种重要的金属有机化合物,其英文全称为“Tetrakis DiEthylAmino Titanium”,常被简称为TDEAT以方便书写和学术交流。该化合物在化学合成、材料科学及半导体薄膜沉积等领域有广泛应用。由于其在高温下可高效分解为高质量的钛基薄膜,常被用作化学气相沉积(CVD)工艺的前驱体材料。
Tetrakis DiEthylAmino Titanium具体释义
Tetrakis DiEthylAmino Titanium的英文发音
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