LER:线条边缘粗糙度
“线边缘粗糙度”(Line Edge Roughness,常缩写为LER)是微电子制造和纳米技术中常用的术语,用于描述图形边缘的不规则性和波动程度。该指标对器件性能有重要影响,因此在光刻工艺和材料研究中被广泛关注。使用缩写LER便于在技术文档和学术交流中简洁表达,尤其常见于半导体、光子学等跨学科领域。
Line Edge Roughness具体释义
Line Edge Roughness的英文发音
例句
- Influence factors of line edge roughness measured by AFM
- 使用原子力显微镜测量刻线边缘粗糙度的影响因素
- Reserch on the Measurement Technology of Line Edge Roughness(LER) by AFM
- 基于AFM的刻线边缘粗糙度测量技术研究
本站英语缩略词为个人收集整理,可供非商业用途的复制、使用及分享,但严禁任何形式的采集或批量盗用
若LER词条信息存在错误、不当之处或涉及侵权,请及时联系我们处理:675289112@qq.com。