PACVD:等离子体辅助化学气相沉积
等离子体辅助化学气相沉积(Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition,简称PACVD)是一种常用于电子与材料科学领域的先进薄膜制备技术。该技术利用等离子体增强化学气相沉积过程的效率与可控性,广泛应用于半导体器件、光学涂层等功能材料的研发与制造。在学术和工业文献中,常使用缩写PACVD以便于快速书写与交流。
Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition具体释义
Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition的英文发音
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