LPCVD:低压化学气相沉积
“低压化学气相沉积”是一种在半导体制造和材料科学领域广泛应用的薄膜制备技术,其英文全称为“Low pressure chemical vapour deposition”。为便于书写和交流,该术语通常被缩写为LPCVD。这种方法通过在低压环境下利用气态前驱体发生化学反应,从而在基底表面沉积出高质量、均匀的薄膜层。
Low pressure chemical vapour deposition具体释义
Low pressure chemical vapour deposition的英文发音
例句
- This thesis was based on unexpensive chemic fabrication. The silica opal was fabricated by convection self-assembly methods and the silica opal was filled with silicon by low pressure chemical vapour deposition ( LPCVD ). Finally silicon inverse opal was fabricated.
- 本论文以低成本化学制备技术为基础,采用胶体自组装制备二氧化硅蛋白石(Opal)模板,利用低压化学气相沉积(LPCVD)填充硅制备硅反蛋白石(InverseOpal)。
- The Effect of Bias on Low Pressure Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition of TiO_2 Film and its Structure and Performance
- 偏压对低气压等离子体增强化学气相沉积TiO2薄膜的结构和性能的影响
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