HIBS:重离子背散射光谱法
“重离子背散射光谱法”是一种常用于电子与材料科学领域的分析技术,其英文全称为“Heavy Ion Backscattering Spectrometry”。为便于书写和交流,该术语常缩写为HIBS。该方法主要通过高能重离子束轰击样品表面,通过分析背散射离子的能量分布,来研究材料的成分、结构及表层特性,在半导体、薄膜分析等方面具有重要应用价值。
Heavy Ion Backscattering Spectrometry具体释义
Heavy Ion Backscattering Spectrometry的英文发音
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