CAIBE:化学辅助离子束刻蚀
化学辅助离子束刻蚀(Chemically-Assisted Ion Beam Etching,简称CAIBE)是一种广泛应用于电子和半导体领域的精密加工技术。该术语在学术及科技文献中常采用英文缩写CAIBE,以便于快速书写和交流。这一技术结合了化学反应与物理轰击作用,能够实现对材料表面的高精度、高可控性刻蚀,在微纳制造和器件加工中具有重要价值。
Chemically-Assisted Ion Beam Etching具体释义
Chemically-Assisted Ion Beam Etching的英文发音
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