GPE：气相腐蚀
“气相腐蚀”（Gas Phase Etching，简称GPE）是电子制造与微加工工艺中的关键技术之一，常被简写为GPE以便于快速书写和引用。该方法广泛用于半导体、集成电路等高科技领域，通过气态反应物对材料表面进行选择性刻蚀，具有精度高、污染少的优点，是学术和工业界常用的表面处理工艺。
Gas Phase Etching的英文发音
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