ESC:静电吸盘
静电吸盘(ElectroStatic Chuck,简称ESC)是一种在半导体制造和电子工业中广泛应用的关键部件,通常用于在加工过程中通过静电吸附技术稳定固定晶圆或其他基材。ESC这一缩写形式在学术论文和技术文档中极为常见,不仅提升了书写与交流的效率,也便于专业人士在相关领域快速识别和应用。
ElectroStatic Chuck具体释义
ElectroStatic Chuck的英文发音
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