OEBR:光学边缘珠去除
“光学边缘珠去除”(Optical Edge Beal Removal)在学术与电子技术领域中常被缩写为 OEBR,这一简称不仅便于快速书写和使用,也有助于专业交流时的效率提升。该技术主要用于去除晶圆边缘的光刻胶残留,是半导体制造过程中的关键工艺之一。
Optical Edge Bead Removal具体释义
Optical Edge Bead Removal的英文发音
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