缩写	全称	中文释义
TMDS	Transition Minimized Differential Signalling	转换最小差分信令
WTSM	Warning Threshold Selection Model	警告阈值选择模型
SMPM	SECS (Semiconductor Equipment Communications Standard) Message Protocol Machine	半导体设备通信标准报文协议机
IPVD	Interior Physical Vapor Deposition	内部物理气相沉积
VPS	Vital Power Supply	重要电源
RMS	Recipe Management Standard	配方管理标准
MOS-C	Metal Oxide Semiconductor Capacitor	金属氧化物半导体电容器
BAVF	Banks of Assumed Velocity Filters	假定速度滤波器组
IMD4	Fourth-order Inter-Modulation Distortion	第四阶互调失真
ZVC	Zero Voltage Crossing	零电压交叉