缩写	全称	中文释义
PE	Power Envelope	功率包络
VDF	Variable Diameter Fiber	变径纤维
LU	Linear Up	线性上升
QCM	Quartz Crystal Microbalance	石英晶体微天平
FOUP	Front Opening Unified Pod	前开门统一吊舱
GND	Ground (voltage level)	接地（电压等级）
FBS	Frequency Bank System	频率组系统
EDO-RAM	Extended Data Output Random Access Memory	扩展数据输出随机存取存储器
TOFD	Time of Flight Diffraction	飞行时间衍射
NFB	No FeedBack	无反馈