EUVL:极紫外光刻
极紫外光刻(Extreme Ultra-Violet Lithography,简称EUVL)是一种采用极短波长的紫外光进行微细加工的光刻技术,在半导体制造、纳米科技等领域具有关键应用。该缩写形式EUVL便于书写和交流,尤其在美国政府相关文件及科研机构中广泛使用,有助于提升专业文献和报告的表述效率。
Extreme Ultra- Violet Lithography具体释义
Extreme Ultra- Violet Lithography的英文发音
例句
- Wafer stage is a key subsystem in the extreme ultra violet lithography ( EUV ).
- 工件台系统是极紫外光刻(EUVL)(EUV)的一个关键子系统。
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