RGA:残气分析仪
残气分析仪(Residual Gas Analyzers,简称RGA)是一种专门用于检测和分析真空系统中残余气体的精密仪器。其英文名称常缩写为RGA,主要是为了方便书写和日常使用。该设备广泛应用于半导体制造、科研实验、真空镀膜等多个技术领域,能够精确识别气体成分及其分压,对工艺控制和系统维护至关重要。
Residual Gas Analyzers具体释义
Residual Gas Analyzers的英文发音
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