RSD:反应溅射沉积
“反应溅射沉积”(Reactive Sputter Deposition,常缩写为RSD)是一种常见于材料科学、化学和工程领域的薄膜制备技术。该术语在学术及专业文献中频繁使用,缩写形式RSD有助于简化书写与交流。该技术通过在反应气体氛围中进行溅射,实现对材料表面的精确镀膜,广泛应用于半导体、光学涂层及功能材料的研究与生产中。
Reactive Sputter Deposition具体释义
Reactive Sputter Deposition的英文发音
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