EPL：电子投影光刻

电子投影光刻（Electron Projection Lithography，简称EPL）是一种常见于电子与微纳加工领域的先进工艺技术。该技术利用电子束进行高精度图形投影，在半导体制造、微机电系统等科研与工业场景中应用广泛。采用缩写EPL不仅便于书写和快速交流，也有助于提升专业文献与技术文档的表达效率。

Electron Projection Lithography具体释义

  • 英文缩写：EPL
  • 英语全称：Electron Projection Lithography
  • 中文意思：电子投影光刻
  • 中文拼音：diàn zǐ tóu yǐng guāng kè
  • 相关领域： epl 电子

Electron Projection Lithography的英文发音

例句

  1. Monte Carlo simulation of electron transmission through masks in projection electron lithography
  2. 投影电子束光刻中电子穿透掩膜的MonteCarlo模拟
  3. We have calculated electron energy loss spectrum for electrons transmitted through a mask in projection electron lithography by Monte Carlo simulation based on the dielectric function model and Mott elastic scattering cross section. A good agreement between simulation and experiment is obtained.
  4. 利用基于Mott散射截面和介电函数模型的MonteCarlo方法模拟了电子穿透掩膜的能量损失分布，其计算结果与实验结果符合很好。

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