WTC:晶片传输室
“Wafer Transfer Chamber”在电子与半导体领域的学术文献和工程文件中常被缩写为WTC,以便于快速记录和使用。该术语的中文对应词为“晶片传输室”,主要用于描述半导体制造过程中负责晶片在不同工艺腔室间高效、洁净传输的关键设备模块,有助于提升生产流程的自动化程度与工艺稳定性。
Wafer Transfer Chamber的英文发音
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