SECS:半设备通信标准
“SEMI设备通信标准”(SEMI Equipment Communication Standard)是半导体制造设备行业广泛采用的关键通信协议。为了方便日常书写和使用,该标准通常被缩写为SECS。它主要用于实现设备与上层控制系统之间的高效、标准化数据交换,在半导体生产线自动化与智能化管理中扮演着重要角色。
SEMI equipment communication standard具体释义
SEMI equipment communication standard的英文发音
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