HDP:高密度等离子体
高密度等离子体(High Density Plasma,常缩写为HDP)是一种在电子工程、材料科学等领域中广泛应用的高能量态物质。该缩写形式便于学术交流与文献撰写,能够有效提高专业术语的使用效率。其特点是粒子密度显著高于常规等离子体,因此在半导体制造、薄膜沉积等工艺中具有重要作用。
High Density Plasma具体释义
High Density Plasma的英文发音
例句
- The results show that the ECR plasma source may generate stable, high density plasma with low electron temperature.
- 实验证明,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体(HDP)。
- Collision absorption at microwave window and resonance absorption at ECR region produce high density plasma at high pressure.
- 在高气压下,微波窗口附近的碰撞吸收和ECR区的共振吸收并存的结果。
- Plasma diagnostics techniques is important for controlling of high density plasma etching process.
- 等离子体诊断技术对于高密度等离子刻蚀过程的监控显得非常重要。
- Endpoint Detection in High Density Plasma(HDP) Etching System
- 高密度等离子体(HDP)刻蚀机中的终点检测技术
- In this article, with a self-consistent fluid model, we study the transport characteristics of the rf sheath in low pressure, high density plasma, and a Monte Carlo ( MC ) method is applied to calculate the IAD at the electrode.
- 本文利用一个自洽的流体力学模型,研究了低压高密等离子体中射频鞘层的输运特性。在计算轰击到极板上离子的入射角分布时,应用了蒙特卡罗(MonteCarlo)方法。
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