| 缩写 | 全称 | 中文释义 |
|---|---|---|
| ISPM | In-Situ Particle Monitor | 原位颗粒监测仪 |
| DDS | Direct Digital Synthesizer | 直接数字合成器 |
| TDN | Technical Deviation Notice | 技术偏差通知单 |
| FIT | Filtering Integration Technology | 过滤集成技术 |
| MFM | Magnetic Force Microscopy | 磁力显微镜 |
| UHC | Undershoot Hardened Circuitry | 下冲加固电路 |
| MTTC | Mean Time To Correct | 平均校正时间 |
| CTMC | Cluster Tool Modular Communications | 集群工具模块化通信 |
| TPD | Three-Phase filter, Delta configuration | 三相滤波器，三角形配置 |
| SCIC | Semi-Conductor Integrated Circuit | 半导体集成电路 |